改善工件表面性能的方不除了化学热处理以外，还有高频表面淬火、火焰表面淬火、喷丸、滚压、冷压冷轧等冷作硬化处理；表面氧化、磷化处理；各种电镀、粉末熔射、电火花喷射等。与这些表面处理方法相比较，化学热处理具有以下特点。

（1）根据需要渗入不同的元素，有效地改变工件表面的化学成分和组织，获得各种不同的性能，以满足各种不同工件条件对工件的要求。

（2）一般化学热处理的渗层深度和渗层的成分可根据工件的技术要求来调节，而且渗层的成分、组织和性能由表至里是逐渐变化的，渗层与基体结合牢固，表层不易剥落。

（3）通常化学热处理不受工件几何形状的局限，无论形状如何复杂的工件均可使外壳和内腔获得所要求的渗层或局部渗层，不像表面淬火、液压、冷压冷轧等冷作硬化处理那样，要受到工件形状的限制。

（4）绝大部分化学热处理具有工件变形小、精度高、尺寸稳定性好等特点。如氮化、软氮化、离子氮化等工艺，均使工件具有较高的精度、较低的表面粗糙度和良好的尺寸稳定性。

（5）所有化学热处理均可获得改善表面性能的综合效果，大中分化学热处理在提高表面力学性能的同时，还能提高表面层的抗腐蚀、抗氧化、减摩、抗咬合、耐热等多种性能。

（6）一般化学热处理对提高机械产品的质量、挖掘材料潜力、延长使用寿命具有更为显著的成效，可以大大节约贵重的金属材料，降低成本，经济效益高。

（7）多数化学热处理既是一个复杂的物理化学过程，也是一个复杂的冶金过程，它需要在一定的活性介质中是行加热，通过界面上的物理化学反应和由表及里的冶金扩散来完成。因而它的工艺较复杂，处理周期相对较长，而且对使用设备有较高的要求。